1. עיצוב משולב של מיקרוסקופ מטאלוגרפי אופטי ומיקרוסקופ כוח אטומי, פונקציות חזקות
2. יש לו גם מיקרוסקופ אופטי וגם פונקציות הדמיה של מיקרוסקופ כוח אטומי, שניהם יכולים לעבוד בו זמנית מבלי להשפיע זה על זה
3. באותו זמן, יש לו את הפונקציות של מדידה דו מימדית אופטית ומדידה תלת מימדית של מיקרוסקופ כוח אטומי
4. ראש זיהוי הלייזר ושלב סריקת הדוגמאות משולבים, המבנה יציב מאוד והאנטי-הפרעות חזק
5. מכשיר מיקום בדיקה מדויק, התאמת יישור נקודת לייזר קלה מאוד
6. דגימת הכונן החד-ציר מתקרבת אוטומטית לבדיקה אנכית, כך שקצה המחט נסרק בניצב לדגימה
7. שיטת האכלת המחט החכמה של הזיהוי האוטומטי הקרמי הפיאזואלקטרי בלחץ מבוקרת מנוע מגינה על הגשש ועל הדגימה
8. מערכת מיקום אופטית בהגדלה גבוהה במיוחד להשגת מיקום מדויק של הבדיקה ואזור סריקת הדגימות
9. סורק משולב עורך משתמש לתיקון לא ליניארי, אפיון ננומטר ודיוק מדידה טוב מ-98%
מפרטים:
| מצב הפעלה | מצב מגע, מצב הקשה |
| מצב אופציונלי | חיכוך/כוח רוחבי, משרעת/פאזה, כוח מגנטי/אלקטרוסטטי |
| עקומת ספקטרום הכוח | עקומת כוח FZ, עקומת RMS-Z |
| טווח סריקת XY | 50*50um, אופציונלי 20*20um, 100*100um |
| טווח סריקת Z | 5um, אופציונלי 2um, 10um |
| רזולוציית סריקה | אופקי 0.2nm, אנכי 0.05nm |
| גודל המדגם | Φ≤68 מ"מ, H≤20 מ"מ |
| מסע במה לדוגמה | 25*25 מ"מ |
| עינית אופטית | פי 10 |
| מטרה אופטית | יעדים אפוכרומטיים של תוכנית 5X/10X/20X/50X |
| שיטת תאורה | מערכת תאורה LE Kohler |
| מיקוד אופטי | פוקוס ידני מחוספס |
| מַצלֵמָה | חיישן CMOS 5MP |
| לְהַצִיג | צג שטוח בגודל 10.1 אינץ' עם פונקציית מדידה הקשורה לגרף |
| מהירות סריקה | 0.6 הרץ-30 הרץ |
| זווית סריקה | 0-360° |
| סביבת פעולה | מערכת הפעלה Windows XP/7/8/10 |
| ממשק תקשורת | USB2.0/3.0 |
