1. תכנון משולב של מיקרוסקופ מטלוגרפי אופטי ומיקרוסקופ כוח אטומי, פונקציות עוצמתיות
2. יש לו גם מיקרוסקופ אופטי וגם פונקציות הדמיה של מיקרוסקופ אטומי, ששניהם יכולים לעבוד בו זמנית מבלי להשפיע זה על זה
3. באותו זמן, יש לו את הפונקציות של מדידה דו ממדית אופטית ומיקרוסקופ אטומי מיקרוסקופ תלת ממדי
4. ראש זיהוי הלייזר ושלב הסריקה של הדגימה משולבים, המבנה יציב מאוד והאנטי-אינטרפורמציה חזקה
5. מכשיר מיקום בדיקת דיוק, התאמת יישור ספוט לייזר קל מאוד
6. מדגם הכונן עם ציר יחיד מתקרב אוטומטית לבדיקה אנכית, כך שקצה המחט נסרק בניצב לדגימה
7. שיטת האכלה מחט אינטליגנטית של הגילוי האוטומטי של קרמיקה בלחץ על ידי המנוע מגן על הגשש והמדגם
8. מערכת מיקום אופטי הגדלה במיוחד כדי להשיג מיקום מדויק של שטח בדיקה ודגימה
9. סורק משולב עורך משתמשים בתיקון לא לינארי, אפיון ננומטר ודיוק מדידה טוב יותר מ- 98%
מפרט:
| מצב הפעלה | מצב מגע, מצב הקש |
| מצב אופציונלי | חיכוך/כוח לרוחב, משרעת/שלב, כוח מגנטי/אלקטרוסטטי |
| עקומת ספקטרום כוח | עקומת כוח FZ, עקומת RMS-Z |
| טווח סריקת XY | 50*50um, אופציונלי 20*20um, 100*100um |
| Z טווח סריקה | 5um, אופציונלי 2um, 10um |
| רזולוציית סריקה | אופקי 0.2nm, אנכי 0.05nm |
| גודל מדגם | Φ≤68 מ"מ, H≤20 מ"מ |
| נסיעות שלב לדוגמא | 25*25 מ"מ |
| עינית אופטית | 10x |
| מטרה אופטית | יעדים אפוכרומטיים 5x/10x/20x/50x |
| שיטת תאורה | מערכת התאורה של לה קולר |
| מיקוד אופטי | מיקוד ידני מחוספס |
| מַצלֵמָה | חיישן CMOS 5MP |
| לְהַצִיג | תצוגת לוח שטוחה בגודל 10.1 אינץ 'עם פונקציית מדידה הקשורה לגרף |
| מהירות סריקה | 0.6Hz-30Hz |
| זווית סריקה | 0-360 ° |
| סביבת הפעלה | מערכת הפעלה של Windows XP/7/8/10 |
| ממשק תקשורת | USB2.0/3.0 |
