1. תכנון משולב של מיקרוסקופ מטלוגרפי אופטי ומיקרוסקופ כוח אטומי, פונקציות עוצמתיות
2. יש לו גם מיקרוסקופ אופטי וגם פונקציות הדמיה של מיקרוסקופ של כוח אטומי, ששניהם יכולים לעבוד בו זמנית מבלי להשפיע זה על זה
3. יכול לעבוד בסביבת אוויר רגילה, סביבת נוזלים, סביבת בקרת טמפרטורה וסביבת בקרת גז אינרטי בו זמנית
4. טבלת סריקת הדגימה וראש גילוי הלייזר מעוצבים בסוג סגור, וניתן למלא גז מיוחד ולהשתחרר בפנים, מבלי להוסיף כיסוי איטום
5. גילוי הלייזר מאמץ תכנון נתיב אופטי אנכי, ויכול לעבוד תחת נוזל עם מחזיק בדיקת המטרה הכפולה של נוזל הגז
6. מדגם הכונן עם ציר יחיד מתקרב אוטומטית לבדיקה אנכית, כך שקצה המחט נסרק בניצב לדגימה
7. שיטת האכלה מחט אינטליגנטית של הגילוי האוטומטי של קרמיקה בלחץ על ידי המנוע מגן על הגשש והמדגם
8. מערכת מיקום אופטי הגדלה במיוחד כדי להשיג מיקום מדויק של שטח בדיקה ודגימה
9. סורק משולב עורך משתמשים בתיקון לא לינארי, אפיון ננומטר ודיוק מדידה טוב יותר מ- 98%
מפרט:
| מצב הפעלה | מצב מגע, מצב הקש |
| מצב אופציונלי | חיכוך/כוח לרוחב, משרעת/שלב, כוח מגנטי/אלקטרוסטטי |
| עקומת ספקטרום כוח | עקומת כוח FZ, עקומת RMS-Z |
| טווח סריקת XY | 50*50um, אופציונלי 20*20um, 100*100um |
| Z טווח סריקה | 5um, אופציונלי 2um, 10um |
| רזולוציית סריקה | אופקי 0.2nm, אנכי 0.05nm |
| גודל מדגם | Φ≤68 מ"מ, H≤20 מ"מ |
| נסיעות שלב לדוגמא | 25*25 מ"מ |
| עינית אופטית | 10x |
| מטרה אופטית | יעדים אפוכרומטיים 5x/10x/20x/50x |
| שיטת תאורה | מערכת התאורה של לה קולר |
| מיקוד אופטי | מיקוד ידני מחוספס |
| מַצלֵמָה | חיישן CMOS 5MP |
| לְהַצִיג | תצוגת לוח שטוחה בגודל 10.1 אינץ 'עם פונקציית מדידה הקשורה לגרף |
| ציוד חימום | טווח בקרת טמפרטורה: טמפרטורת החדר ~ 250 ℃ (אופציונלי) |
| פלטפורמה משולבת חמה וקרה | טווח בקרת טמפרטורה: -20 ℃ ~ 220 ℃ (אופציונלי) |
| מהירות סריקה | 0.6Hz-30Hz |
| זווית סריקה | 0-360 ° |
| סביבת הפעלה | מערכת הפעלה של Windows XP/7/8/10 |
| ממשק תקשורת | USB2.0/3.0 |
