1. עיצוב משולב של מיקרוסקופ מטאלוגרפי אופטי ומיקרוסקופ כוח אטומי, פונקציות חזקות
2. יש לו גם מיקרוסקופ אופטי וגם פונקציות הדמיה של מיקרוסקופ כוח אטומי, שניהם יכולים לעבוד בו זמנית מבלי להשפיע זה על זה
3. יכול לעבוד בסביבת אוויר רגילה, סביבה נוזלית, סביבת בקרת טמפרטורה וסביבת בקרת גז אינרטי בו זמנית
4. שולחן הסריקה לדוגמא וראש זיהוי הלייזר מעוצבים בסוג סגור, וניתן למלא ולפרוק גז מיוחד בפנים, ללא הוספת מכסה איטום
5. זיהוי הלייזר מאמץ עיצוב נתיב אופטי אנכי, ויכול לעבוד תחת נוזל עם מחזיק הבדיקה הדו-תכליתית של גז-נוזל
6. דגימת הכונן החד-ציר מתקרבת אוטומטית לבדיקה אנכית, כך שקצה המחט נסרק בניצב לדגימה
7. שיטת האכלת המחט החכמה של הזיהוי האוטומטי הקרמי הפיאזואלקטרי בלחץ מבוקרת מנוע מגינה על הגשש ועל הדגימה
8. מערכת מיקום אופטית בהגדלה גבוהה במיוחד להשגת מיקום מדויק של הבדיקה ואזור סריקת הדגימות
9. סורק משולב עורך משתמש לתיקון לא ליניארי, אפיון ננומטר ודיוק מדידה טוב מ-98%
מפרטים:
| מצב הפעלה | מצב מגע, מצב הקשה |
| מצב אופציונלי | חיכוך/כוח רוחבי, משרעת/פאזה, כוח מגנטי/אלקטרוסטטי |
| עקומת ספקטרום הכוח | עקומת כוח FZ, עקומת RMS-Z |
| טווח סריקת XY | 50*50um, אופציונלי 20*20um, 100*100um |
| טווח סריקת Z | 5um, אופציונלי 2um, 10um |
| רזולוציית סריקה | אופקי 0.2nm, אנכי 0.05nm |
| גודל המדגם | Φ≤68 מ"מ, H≤20 מ"מ |
| מסע במה לדוגמה | 25*25 מ"מ |
| עינית אופטית | פי 10 |
| מטרה אופטית | יעדים אפוכרומטיים של תוכנית 5X/10X/20X/50X |
| שיטת תאורה | מערכת תאורה LE Kohler |
| מיקוד אופטי | פוקוס ידני מחוספס |
| מַצלֵמָה | חיישן CMOS 5MP |
| לְהַצִיג | צג שטוח בגודל 10.1 אינץ' עם פונקציית מדידה הקשורה לגרף |
| ציוד חימום | טווח בקרת טמפרטורה: טמפרטורת החדר ~ 250 ℃ (אופציונלי) |
| פלטפורמה משולבת חמה וקרה | טווח בקרת טמפרטורה: -20 ℃ ~ 220 ℃ (אופציונלי) |
| מהירות סריקה | 0.6 הרץ-30 הרץ |
| זווית סריקה | 0-360° |
| סביבת פעולה | מערכת הפעלה Windows XP/7/8/10 |
| ממשק תקשורת | USB2.0/3.0 |
