יישום
עיצוב הכל-ב-אחד, מבנה וצורה חכמים. ראש הסריקה ושלב הדגימה מתוכננים יחד, ביצועים חזקים נגד רעידות. זיהוי לייזר מדויק ומכשיר יישור בדיקה הופכים את התאמת הלייזר לפשוטה וקלה. התאם מנוע סרוו כדי להניע את קצה הדגימה המתקרב באופן ידני או אוטומטית, למימוש מיקום אזור סריקה מדויק. מכשיר העברת דגימות ברמת דיוק גבוהה וטווח גדול מאפשר לסרוק כל אזור מעניין של דגימה; סוגים שונים של סורק עומדים בדרישות הלקוח השונות בדייקנות ובגודל הסריקה; מערכת תצפית אופטית לבדיקת טיפ ודגימה מיצוב. מערכת תצפית ב-CCD לתצפית ומיקום מדגם בזמן אמת; השתמש במנוע סרוו כדי להשיג מיקוד אוטומטי של CCD מערכת אלקטרונית מעוצבת כמודולרית וקלה לתחזוקה ופיתוח. משולבת עם אלקטרוניקה רבות בקרה של מצבי עבודה לפיתוח נוסף.
תכונות עיקריות
1. ראש הסריקה ושלב המדגם מתוכננים יחד, ביצועים חזקים נגד רטט
2. זיהוי לייזר מדויק ומכשיר יישור בדיקה הופכים את התאמת הלייזר לפשוטה וקלה;
3. התאם את מנוע הסרוו להנעת קצה המדגם המתקרב באופן ידני או אוטומטי, כדי לממש מיקום מדויק של אזור הסריקה.
4. מכשיר העברת מדגם דיוק גבוה וטווח גדול מאפשר לסרוק כל אזור מעניין של מדגם;
5. מערכת תצפית אופטית לבדיקת קצה ומיקום מדגם.
6. מערכת אלקטרונית מעוצבת כמודולרית וקלה לתחזוקה ופיתוח נוסף.
7. אמץ קפיץ לבידוד רעידות, ביצועים פשוטים וטובים.
מִפרָט
| מבצע | מצב מגע, מצב חיכוך, | זווית סריקה | אַקרַאִי |
| גודל המדגם | Ø≤90 מ"מ, H≤20 מ"מ | תנועה לדוגמה | 0~20 מ"מ |
| מקסימוםלִסְרוֹק | X/Y: 20μm, Z: 2μm | רוחב הדופק של המנוע המתקרב | 10±2ms |
| פתרון הבעיה | X/Y: 0.2 ננומטר, Z: 0.05 ננומטר | מערכת אופטית | הגדלה: פי 4, |
| קצב סריקה | 0.6 הרץ ~ 4.34 הרץ | נקודות מידע | 256×256,512×512 |
| סריקה | XY: 18 סיביות D/A, Z: 16 סיביות D/A | סוג משוב | משוב דיגיטלי DSP |
| דגימת נתונים | A/D אחד של 14 סיביות ו-A/D כפול של 16 סיביות בו זמנית | ||
| חיבור למחשב | USB2.0 | קצב דגימת משוב | 64.0KHz |
| חלונות | תואם עם Windows 98/2000/XP/7/8 | ||
תֶקֶן
GB/T 2985-1991
תמונות אמיתיות
